[发明专利]用于基于网的处理的无掩模平版印刷有效
| 申请号： | 201480058382.1 | 申请日： | 2014-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105659166B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多佛·本彻 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开案总体涉及一种用于处理基于网的基板的方法和设备。当所述基板在辊之间行进时，所述基板可被拉伸并且因而扭曲。一旦所述基板到达所述辊处，所述基板扭曲就会固定。通过调整处理参数，所扭曲的基板得以处理，而不需要校正所述扭曲。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 处理 无掩模 平版印刷 | ||
【主权项】：
1.一种对基于网的基板进行处理的方法，所述方法包括：检测所述基板是扭曲的，其中所述检测包括检测在所述基板上的多个对准标记的位置；基于检测到的对准标记来计算所述基板的扭曲，其中所计算的扭曲是整个所述基板的统计平均扭曲；以及基于检测到的扭曲来对所扭曲的基板进行光刻处理，其中所述光刻处理步骤包括使用图像整形器，所述图像整形器能够产生凸出且柱形的场形，以便匹配辊的形状。
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