[发明专利]用于基于网的处理的无掩模平版印刷

说明书

本公开案总体涉及一种用于处理基于网的基板的方法和设备。当所述基板在辊之间行进时，所述基板可被拉伸并且因而扭曲。一旦所述基板到达所述辊处，所述基板扭曲就会固定。通过调整处理参数，所扭曲的基板得以处理，而不需要校正所述扭曲。

背景

领域

本公开案的实施方式涉及一种用于处理基于网的基板(web-based substrate)的方法和设备。

相关技术描述

在基于网的基板处理中，基板移动过辊，并且在一或多个处理位置处进行处理。与静态处理相反，基于网的基板可以在基板连续移动通过系统时进行处理。因此，基板位置不断改变，这种情况在基于网的基板处理中尤为明显。基于网的基板行进过辊。当在该辊上时，基板位置一般是固定的。然而，在辊与辊之间，基板会被拉伸或垂直/侧向于基板所行进的路径移动。换句话说，基板可能游移(wander)，使得当基板遇到该辊时，就基于网的基板的整个长度而言，基板并非在辊上的相同位置。

除了游移之外，基板会被扭曲，使得基板相对于基板移动方向侧向地“挤成一团(bunch up)”或压缩。当所扭曲的基板到达辊处时，扭曲一般固定，使得这种扭曲不会由于该基板的部分与辊接触发生改变。然而，处理所扭曲的基板可能导致许多问题，因为扭曲可能在基板移动通过系统时沿基板的长度发生改变。因此，基板必须将不扭曲，或者处理条件必须改变以便补偿扭曲。

一种解决基板扭曲问题的方法是使用自对准压印平版印刷技术(Self AlignedImprint Lithography,SAIL)。SAIL仅仅将多个平版印刷(lithography)步骤间的对准问题转移至多个蚀刻步骤，并且目前是商业上不可行的。SAIL处理需要大量资金投入以及非常严苛的系统布局和设计规则。

因此，在本领域需要一种以不同于SAIL的方式来处理基于网的基板的方法。

概述

本公开案总体涉及一种用于处理基于网的基板的方法和设备。当所述基板在辊之间行进时，所述基板可被拉伸并且因而扭曲。一旦所述基板到达所述辊处，所述基板扭曲就会固定。通过调整处理参数，所扭曲的基板得以处理，而不需要校正所述扭曲。

在一个实施方式中，一种对基于网的基板进行处理的方法包括：检测所述基板是扭曲的；以及基于所述检测到的扭曲来对所扭曲的基板进行光刻处理。

在另一实施方式中，一种基于网的处理设备包括：辊，所述辊设置在腔室主体中；对准测量装置；CPU，所述CPU耦接所述对准测量装置；处理装置，所述处理装置被耦接到所述CPU；以及图像整形器(image shaper)，所述图形整形器设置在所述处理装置与所述辊之间，其中所述图像整形器能够形成凸出且柱形的场形，以便匹配所述辊的形状。

附图简述

因此，为了能够详细理解本公开案的上述特征结构所用方式，上文所简要概述的本公开案的更具体的描述可以参考实施方式进行，其中一些实施方式示出在附图中。然而，应当注意，附图仅仅示出本公开案的典型实施方式，并且因此不应视为限制本公开案范围，因为本公开案可以允许其他等效实施方式。

图1是通过辊的基于网的基板的示意图。

图2A至图2C是基于网的基板的示意图，其中示出扭曲。

图3是具有对准标记的基于网的基板的示意图。

图4是根据一个实施方式的设备的示意图。

图5是根据一个实施方式的结合图像整形器的设备的示意图。

为了促进理解，已尽可能使用相同元件符号标示这些附图所共有的相同元件。预期的是，一个实施方式中公开的元件可有益地用于其他实施方式，而不需要具体叙述。