[发明专利]用于基于网的处理的无掩模平版印刷

权利要求书

1.一种对基于网的基板进行处理的方法，所述方法包括：

检测所述基板是扭曲的，其中所述检测包括检测在所述基板上的多个对准标记的位置；

基于检测到的对准标记来计算所述基板的扭曲，其中所计算的扭曲是整个所述基板的统计平均扭曲；以及

基于检测到的扭曲来对所扭曲的基板进行光刻处理，

其中所述光刻处理步骤包括使用图像整形器，所述图像整形器能够产生凸出且柱形的场形，以便匹配辊的形状。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述检测发生在所述基板与所述辊接触时。

3.根据权利要求1所述的方法，进一步包括基于所计算的扭曲来调整用于处理所述基板的光刻条件。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所计算的扭曲是基于对与所述基板上形成的第一产品相邻的所述对准标记的所述检测的扭曲。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个对准标记包括多个侧向延伸对准标记。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述多个对准标记包括多个纵向延伸对准标记。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述检测发生在所述基板在幅网处理系统中移动时。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所计算的扭曲是基于对与所述基板上形成的第一产品相邻的所述对准标记的所述检测的扭曲。

9.一种基于网的处理设备，所述基于网的处理设备包括：

辊，所述辊设置在腔室主体中；

对准测量装置，当基板与所述辊接触时所述对准测量装置用于检测所述基板中的扭曲；

CPU，所述CPU耦接所述对准测量装置以计算所述基板中的所述扭曲的多点拖尾均值；

处理装置，所述处理装置被耦接到所述CPU；以及

图像整形器，所述图像整形器设置在所述处理装置与所述辊之间，其中所述图像整形器能够产生凸出且柱形的场形，以便匹配所述辊的形状。

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述对准测量装置包括相机。

11.根据权利要求9所述的设备，其中所述处理装置包括光刻处理装置。