[发明专利]X射线衍射装置和X射线衍射测定方法

摘要

不使用后级受光狭缝就能够变更测定分辨率，并且对于在使用后级受光狭缝的情况下无法实现的测定分辨率的变更也能够灵活地应对。本发明的X射线衍射装置对试样台(7)上的试样(S)照射由X射线源产生的X射线，利用检测器(15)来检测在该试样(S)处衍射后的X射线，具备虚拟掩模设定部(26)和信号处理部(21)。检测器(15)按形成检测面(17)的多个检测元件(16)的每个检测元件(16)，输出与由检测元件(16)接收到的X射线的强度相应的检测信号。虚拟掩模设定部(26)对检测器(15)的检测面(17)设定虚拟掩模(31)，并且至少能够设定虚拟掩模的开口尺寸来作为虚拟掩模(31)的开口条件，其中，该虚拟掩模的开口尺寸是在X方向和Y方向上独立地设定的。信号处理部(21)根据由虚拟掩模设定部(26)设定的虚拟掩模的开口条件对从检测器(15)输出的检测信号进行处理。

主权项

1.一种X射线衍射装置，对放置于试样台的试样照射由X射线源产生的X射线，利用检测器来检测在该试样处衍射后的X射线，该X射线衍射装置的特征在于，所述检测器具有由在互成直角的第一方向和第二方向上排列成2维状的多个检测元件形成的检测面，按形成所述检测面的所述多个检测元件中的每个检测元件，输出与该检测元件所接收到的X射线的强度相应的检测信号，所述X射线衍射装置具备：虚拟掩模设定部，其对所述检测器的所述检测面设定具有开口部和遮蔽部的虚拟掩模，并且至少能够设定所述虚拟掩模的开口尺寸来作为所述虚拟掩模的开口条件，其中，所述虚拟掩模的开口尺寸是在所述第一方向和所述第二方向上独立地设定的；以及信号处理部，其使从对所述检测器的所述检测面设定的所述虚拟掩模的所述开口部内的所述检测元件输出的所述检测信号通过，阻断从所述遮蔽部内的所述检测元件输出的所述检测信号的通过，由此仅将从形成所述检测面的所述多个检测元件中的存在于所述虚拟掩模的所述开口部内的检测元件输出的所述检测信号作为对象来进行信号处理，其中，所述虚拟掩模设定部能够在监视器上显示用于指定所述虚拟掩模的开口条件的虚拟掩模设定画面，在该虚拟掩模设定画面中能够指定所述第一方向上的开口尺寸和所述第二方向上的开口尺寸。