[发明专利]具有增强的实心吸气剂的基板腔室

摘要

用于一个或多个基板的腔室具有外壳，该外壳限定容纳容积并且在其中包括块状或板状吸气剂单元，该吸气剂单元具有由通过一系列沟槽或其它重复表面结构图案形成在板或块上的增大的表面面积提供的增强性能。这种图案化在板或块上提供增大的表面面积，从而增大活性成分暴露于容纳容积的面积。在实施例中，块或板的一侧上的结构在相反侧上具有镜像表面或互补表面。使用这样的结构，保留了块或板的刚度，最小化重量，并且最大化露出的表面面积。外壳可以具有特定的袋或可以利用用于块或板状吸气剂的传统基板槽。板或块状吸气剂可以被构造为装配在传统的槽中或晶片容器或其它基板容器中的专用袋中。

主权项

一种基板容器，包括：腔室，所述腔室限定内部并且包括保持基板的结构，所述基板受空气衍生污染物的影响；以及吸气剂，该吸气剂包括聚合物和分子筛材料，该吸气剂具有一表面，该表面具有由在两个相反的主表面的每一个中的多个沟槽形成以提供增大的表面面积的重复图案。