[发明专利]具有增强的实心吸气剂的基板腔室

权利要求书

1.一种基板容器，包括：

腔室，所述腔室限定内部并且包括保持基板的结构，所述基板受空气衍生污染物的影 响；以及

吸气剂，该吸气剂包括聚合物和分子筛材料，该吸气剂具有一表面，该表面具有由在两 个相反的主表面的每一个中的多个沟槽形成以提供增大的表面面积的重复图案。

2.根据权利要求1所述的基板容器，其中所述多个沟槽彼此平行，并且每一个沟槽都延 伸穿过由所述两个相反的主表面限定的厚度的至少40％。

3.根据权利要求1或2所述的基板容器，其中所述基板容器被构造为容纳掩膜、晶片和 平板中的一个。

4.根据权利要求3所述的基板容器，其中该基板容器与掩膜、晶片和平板中的一个组 合。

5.根据权利要求1或2所述的基板容器，其中所述吸气剂具有板状形状，并且所述多个 沟槽是具有凹部的晶格结构的一部分，所述凹部由所述晶格结构限定并延伸穿过由两个相 反的主表面限定的厚度的至少50％。

6.根据权利要求1所述的基板容器，其中所述吸气剂具有块状形状，该块状形状具有长 度l、宽度w和厚度t，并且所述吸气剂具有(2(lxw)+2(lxt)+2(wxt))的至少1.5倍的 表面面积。

7.根据权利要求6所述的基板容器，其中所述吸气剂具有(2(lxw)+2(lxt)+2(wx t))的至少2倍的表面面积。

8.根据权利要求1所述的基板容器，其中所述吸气剂具有圆形板状形状，该圆形板状形 状具有直径r和厚度t，并且所述吸气剂具有(2πr²+(t2πr))的至少1.5倍的表面面积。

9.根据权利要求1所述的基板容器，其中所述吸气剂具有圆形板状形状，该圆形板状形 状具有直径r和厚度t，并且所述吸气剂具有(2πr²+(t2πr))的至少2倍的表面面积。

10.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述容器是第一容器并且还包括 第二容器，由此提供双腔室基板容器，并且其中所述双腔室基板容器被构造用于保持掩膜。

11.根据权利要求10所述的基板容器，其中所述第二容器被包围在第一容器中，并且所 述吸气剂定位并且固定在所述第二容器的外面。

12.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述吸气剂定位在所述容器中的 吸气剂袋中，并且在两个主侧面中的每一个与容器壁间隔开的情况下固定在所述吸气剂袋 中。

13.根据权利要求1所述的基板容器，其中所述容器包括聚碳酸酯。

14.根据权利要求10所述的基板容器，其中所述容器具有基本由聚碳酸酯形成的容器 壁。

15.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述吸气剂由聚丙烯组成。

16.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述基板容器包括具有一面积的 覆盖区，所述吸气剂的覆盖区的面积为所述基板容器的覆盖区的面积的至少30％。

17.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述基板容器包括具有一面积的 覆盖区，所述吸气剂的覆盖区的面积为所述基板容器的覆盖区的面积的至少50％。

18.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述基板容器包括具有一面积的 覆盖区，所述吸气剂的覆盖区的面积为所述基板容器的覆盖区的面积的至少70％。

19.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述吸气剂为实心、均匀且一体 的。

20.根据权利要求1、6、7、8或9所述的基板容器，其中所述基板包括具有一表面面积的 主表面，并且所述吸气剂包括具有所述基板的表面面积的至少50％的表面面积的主表面。