[发明专利]带电粒子光学器件

摘要

本发明涉及一种操纵多个带电粒子束的轨迹的带电粒子光学器件。所述的带电粒子光学器件包括电磁偏转器，其包括基本上扁平的衬底，该衬底具有所述衬底的上侧、下侧、和均匀的厚度。该衬底包括：在其中穿过所述束的贯通开口，其中所述贯通开口穿过所述衬底的上侧和下侧；第一和第二线圈，其中所述线圈优选基本上是螺旋的线圈，并包括配置在上侧的导电上侧引线，配置在下侧的导电下侧引线，和延伸穿过所述衬底的通孔，并且其中所述通孔导电性连接所述上侧引线的一个和所述下侧引线的一个，以形成所述线圈；其中所述第一和第二线圈被配置在所述贯通开口的任一侧上。

主权项

1.一种操纵一个或多个带电粒子束的轨迹的带电粒子光学器件，所述带电粒子光学器件包括第一电磁偏转器，其包括扁平的衬底，该衬底具有在所述扁平的衬底上侧处或附近的第一表面，在所述扁平的衬底的下侧处或附近的第二表面，和均匀的厚度，其中该衬底包括：在其中穿过所述一个或多个束的第一贯通开口，其中所述第一贯通开口穿过所述扁平的衬底的上侧和下侧；第一和第二线圈，其中所述第一和第二线圈的每个包括一个或多个配置在第一表面上的导电上侧引线，一个或多个配置在第二表面上的导电下侧引线，和一个或多个延伸穿过所述衬底的通孔，其中所述通孔的每一个配置为电性连接所述上侧引线的一个和所述下侧引线的一个，以分别形成所述第一线圈或所述第二线圈；其中，所述第一和第二线圈配置在所述第一贯通开口的任一侧上。