[发明专利]带电粒子光学器件

权利要求书

1.一种操纵一个或多个带电粒子束的轨迹的带电粒子光学器件，所述带电粒子光学器件包括第一电磁偏转器，其包括扁平的衬底，该衬底具有在所述扁平的衬底上侧处或附近的第一表面，在所述扁平的衬底的下侧处或附近的第二表面，和均匀的厚度，其中该衬底包括：

在其中穿过所述一个或多个束的第一贯通开口，其中所述第一贯通开口穿过所述扁平的衬底的上侧和下侧；

第一和第二线圈，其中所述第一和第二线圈的每个包括一个或多个配置在第一表面上的导电上侧引线，一个或多个配置在第二表面上的导电下侧引线，和一个或多个延伸穿过所述衬底的通孔，其中所述通孔的每一个配置为电性连接所述上侧引线的一个和所述下侧引线的一个，以分别形成所述第一线圈或所述第二线圈；

其中，所述第一和第二线圈配置在所述第一贯通开口的任一侧上。

2.根据权利要求1的带电粒子光学器件，其中所述第一和/或第二线圈包括螺旋的线圈。

3.根据权利要求1或2的带电粒子光学器件，其中所述第一贯通开口定义了具有两个纵向侧和两个横向侧的矩形的窗口，其中第一和第二线圈邻近所述纵向侧配置。

4.根据权利要求1的带电粒子光学器件，其中所述第一贯通开口用于在其中穿过第一组一个或多个束，且其中所述衬底包括：

第二贯通开口，用于其中穿过一个或多个束的第二组，其中所述第二贯通开口穿过所述扁平的衬底的上侧和下侧，且其中所述第二贯通开口配置在所述第二线圈远离所述第一贯通开口的一侧，以及

第三线圈，其中所述第三线圈包括配置在第一表面上的一个或多个导电上侧引线，配置在第二表面上的一个或多个导电下侧引线，和延伸穿过所述衬底的一个或多个通孔，其中每个通孔配置成导电性连接所述上侧引线和所述下侧引线，以形成所述第三线圈；

其中所述第三线圈配置在第二贯通开口远离所述第二线圈的一侧。

5.根据权利要求4的带电粒子光学器件，其中所述第三线圈包括螺旋的线圈。

6.根据权利要求4或5的带电粒子光学器件，其中该扁平的衬底配备有一个或多个其它的贯通开口，其配置在第一和第二贯通开口之间，其中第一、第二和其它贯通开口彼此隔开一距离配置，且其中在所述第一、第二和其它贯通开口中的两个之间的区域处配置线圈。

7.根据权利要求1的带电粒子光学器件，进一步包括通量限制部件，其在所述第一和第二线圈周围在远离所述第一贯通开口的一侧配置。

8.根据权利要求4的带电粒子光学器件，进一步包括通量限制部件，其在所述第一、第二和第三线圈周围在远离所述第一和第二贯通开口的一侧配置。

9.根据权利要求7或8的带电粒子光学器件，其中该通量限制部件被配置成包围所述扁平的衬底。

10.根据权利要求7或8的带电粒子光学器件，其中该通量限制部件包括可磁化材料。

11.根据权利要求4的带电粒子光学器件，还包括在所述第一、第二和第三线圈周围在远离所述第一和第二贯通开口的一侧配置的通量限制部件，其中该通量限制部件邻近第一和第三线圈配置。

12.根据权利要求11的带电粒子光学器件，其中第二线圈的线圈匝数等于第一线圈的线圈匝数加上第三线圈的线圈匝数。

13.根据权利要求1的带电粒子光学器件，其中除了至少所述第一贯通开口之外，所述扁平的衬底的至少第一和第二表面用电绝缘材料的第一层和导电材料的第二层覆盖，其中第一层夹在第二层和所述扁平的衬底之间。

14.根据权利要求4的带电粒子光学器件，其中除了至少所述第一贯通开口和所述第二贯通开口之外，所述扁平的衬底的至少第一和第二表面用电绝缘材料的第一层和导电材料的第二层覆盖，其中第一层夹在第二层和所述扁平的衬底之间。