[发明专利]电子显微镜有效
| 申请号： | 201480046186.2 | 申请日： | 2014-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN105830193B | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 大八木敏行;四辻贵文 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 范胜杰,王立杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜，具备：电子源，其向样本照射电子线；以及检测器，其检测通过该电子线的照射而从上述样本产生的电子，该电子显微镜根据该检测器的输出生成上述样本的图像，其特征在于，该电子显微镜具备：气体导入部，其用于向上述样本导入气体；显示部，其显示生成的该图像；以及控制部，其控制上述气体导入部，上述检测器为多个，上述显示部将根据多个该检测器的输出而生成的多个图像作为动态图像同时保存和播放，通过指定上述动态图像上的任意的形状，根据图像相关来跟踪上述形状，并显示该形状的移动轨迹。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480046186.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
