[发明专利]电子显微镜

权利要求书

1.一种电子显微镜，具备：电子源，其向样本照射电子线；以及检测器，其检测通过该电子线的照射而从上述样本产生的电子，该电子显微镜根据该检测器的输出生成上述样本的图像，其特征在于，该电子显微镜具备：

气体导入部，其用于向上述样本导入气体；

显示部，其显示生成的该图像；以及

控制部，其控制上述气体导入部，

上述检测器为多个，

上述显示部将根据多个该检测器的输出而生成的多个图像作为动态图像同时保存和播放，

通过指定上述动态图像上的任意的形状，根据图像相关来跟踪上述形状，并显示该形状的移动轨迹。

2.一种电子显微镜，具备：电子源，其向样本照射电子线；以及检测器，其检测通过该电子线的照射而从上述样本产生的电子，该电子显微镜根据该检测器的输出生成上述样本的图像，其特征在于，该电子显微镜的具备：

气体导入部，其用于向上述样本导入气体；

显示部，其显示生成的该图像；以及

控制部，其控制上述气体导入部，

上述检测器为多个，

上述显示部同时显示根据多个该检测器的输出而生成的多个图像，

通过指定上述图像上的任意的形状，根据图像相关来跟踪上述形状，并显示该形状的移动轨迹。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

通过指定上述动态图像上的任意的形状，根据图像相关来跟踪显示图像的形状，将视野固定在该跟踪的位置，由此在上述动态图像上显示没有漂移的图像。

4.根据权利要求2所述的电子显微镜，其特征在于，

该电子显微镜具备：视野移动单元，其以电磁式或机械式移动视野，

通过指定上述图像上的任意的形状，根据图像相关来跟踪显示图像的形状，使用上述视野移动单元进行视野移动到指定的位置，由此显示没有漂移的图像。

5.根据权利要求2所述的电子显微镜，其特征在于，

通过检测上述图像内的特征点的移动，能够在各视野中提取所跟踪的形状，对提取出的该形状测量面积、周长。