[发明专利]电子显微镜

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子显微镜。

背景技术

在利用了电子显微镜的样本观察中，有时进行所谓的“现场观察”，即在现场动态地观察气体气氛中的样本和该气体的反应过程。例如，在燃料电池催化剂中，如果将催化剂暴露在气体中，则贵金属粒子在平坦体上移动并进行粒子生长，通过在现场观察该粒子生长来进行催化剂的劣化分析。

为了进行这种观察，必须划分保持为高真空状态的镜筒内的主要空间、通过气体而保持为低真空状态的样本近旁的空间，该方式大体被分类为隔膜型和差动排气型。作为前者的方式的技术之一，例如在日本特开2003-187735号公报中，记载了将样本密闭在气体气氛中的样本保持器。该样本保持器具备：形成有用于使电子束通过的开口的样本载置部；以横切该开口的方式铺设的加热器用金属丝(样本加热装置)；隔膜，其用于从样本室内(真空)隔离样本载置部；气体导入管(气体导入装置)，其用于将气体导入到由该隔膜形成的样本载置空间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-187735号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在进行放置在上述那样的气体气氛并且低真空状态中的样本的现场观察时，通过动画进行摄影，因此在发生了因反应产生的样本漂移、形状变化的情况下，操作者必须手动地进行修正并记录。

此外，还手动地进行电压的控制、导入气体的控制，因此，在收集数据的情况下，必须由多个操作者进行操作，操作者的操作错误有时过剩地引起反应。

本发明的目的在于：提供一种电子显微镜，其通过修正因反应产生的样本漂移的控制，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。

用于解决问题的手段

本发明为了达到上述目的，具备：检测器，其检测通过向样本照射来自电子枪的电子线而产生的电子；显示装置，其根据该检测器的输出来显示上述样本的显微镜像；根据图像测量样本移动的装置；控制气体导入的装置；气体导入装置，其用于向上述样本释放气体；气体控制装置，其控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有上述检测器的空间内的真空度持续保持为不满设定值。

发明效果

根据本发明，能够通过气体气氛中的样本的现场观察降低样本漂移，进行动态图像观察。

附图说明

图1是本发明的实施方式的扫描型透视电子显微镜的概要结构图。

图2是表示本发明的实施方式的电子显微镜装置中的为了得到透射扫描像而使用的透射扫描型电子显微镜部的图。

图3是本发明的实施方式的样本保持器53的概要结构图。

图4是本发明的实施方式的电子显微镜的镜体内设置的各间隔室的划分的概要图。

图5是本发明的实施方式的压力显示部90的概要结构图。

图6是本发明的实施方式的监视器39的显示画面的一个例子。

图7是本发明的实施方式的动画记录画面的一个例子。

图8是本发明的实施方式的监视器39的显示画面的一个例子。

图9是表示在窗口111中显示二次电子像并在窗口112中显示明视野像的情况下的图像显示部101的一个例子的图。是本发明的实施方式的监视器39的显示画面的一个例子。

图10是本发明的跟踪功能跟踪的一个例子。

图11是执行本发明的跟踪功能的一个例子。

图12是执行本发明的面积、周长功能的一个例子。

图13是执行本发明的视野对位的一个例子。

图14是本发明的气体控制控制模块的一个例子。

图15是本发明的气体导入控制例子。

图16是气体导入的流程图。

具体实施方式

以下，使用附图说明本发明的实施方式。此外，以下以扫描型透射电子显微镜(STEM)为例子进行说明，但本发明不只能够应用于包括扫描型电子显微镜(SEM)、透射型电子显微镜(TEM)以及扫描型透射电子显微镜的电子显微镜，也能够应用于电荷粒子线装置。