[发明专利]具有高热波长调谐效率的可调激光器有效
| 申请号： | 201480037709.7 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105409071B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈宏民;颜学进;苗容生;沈晓安;刘宗荣 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01S5/50;H01S5/06;H01S5/042;H01S5/125;H01S5/0625;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种单片集成热可调激光器，包括：分层衬底，所述分层衬底包括上表面和下表面，以及热调谐组件，所述热调谐组件包括：定位在所述上表面上的加热元件；定位在所述上表面与所述下表面之间的波导层，以及定位在所述波导层与所述下表面之间的隔热层，其中所述隔热层至少部分由磷化铟(Indium Phosphide，InP)牺牲层刻蚀出，其中所述隔热层定位在砷化铟镓(Indium Gallium Arsenide，InGaAs)刻蚀停止层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高热 波长 调谐 效率 可调 激光器 | ||
【主权项】：
一种单片集成热可调激光器，其特征在于，包括：分层衬底，包括上表面和下表面；以及热调谐组件，包括：加热元件，定位在所述上表面上；波导层，定位在所述上表面与所述下表面之间；以及隔热层，定位在所述波导层与所述下表面之间，其中所述隔热层至少部分由磷化铟(Indium Phosphide，InP)牺牲层刻蚀出，其中所述隔热层定位在砷化铟镓(Indium Gallium Arsenide，InGaAs)刻蚀停止层之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司，未经华为技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480037709.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：风冷离合器分离轴承
- 下一篇：一种基于高通量测序的免疫组库构建方法
