[发明专利]具有高热波长调谐效率的可调激光器

权利要求书

1.一种单片集成热可调激光器，其特征在于，包括：

衬底层；

热调谐组件包括悬空隔热结构，所述热调谐组件还包括：

砷化铟镓下刻蚀停止层，位于所述衬底层上方；

隔热层，位于所述砷化铟镓下刻蚀停止层上方，其中所述隔热层通过至少部分刻蚀由磷化铟牺牲层刻蚀出形成；

砷化铟镓上刻蚀停止层，位于所述隔热层上方；

波导层，位于所述砷化铟镓上刻蚀停止层上方；

介电层，位于所述波导层上方，其中，所述介电层包括二氧化硅；

加热元件，嵌入在位于所述介电层上方中；

多个刻蚀通道，在所述波导层和所述隔热层之间延伸以支持在刻蚀期间刻蚀溶液在所述波导层与所述隔热层之间的输送。

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述热调谐组件进一步包括前镜和后镜，其中所述加热元件定位在所述前镜和后镜之间，其中所述前镜和后镜中的至少一个用于基于由所述加热元件产生的热量选择性地反射穿过所述波导层的光。

3.根据权利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述衬底层包括磷化铟材料。