[发明专利]用于基板提升设备的力传感系统

摘要

本发明提供一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

主权项

一种用以监测在基板提升设备的力的系统，包括：台匣，所述台匣包括台以及可动提升部分，所述可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂，所述多个提升臂分别在邻近端耦合至中心轴；多个力传感元件，分别关联于所述多个提升臂以及所述多个提升梢，其中所述多个力传感元件分别配置于所述多个提升臂；以及控制器，用以接收来自所述多个力传感元件的信号，且用以将被接收的所述信号联系至分别施加于所述多个提升梢的力。