[发明专利]用于电子器件制造装置的指示器、以及该装置的设计及/或管理方法有效
| 申请号： | 201480033301.2 | 申请日： | 2014-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN105283516B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 采山和弘;大城盛作 | 申请（专利权）人： | 株式会社樱花彩色笔 |
| 主分类号： | C09D11/037 | 分类号： | C09D11/037;C09D11/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444 | 代理人： | 龚敏,王刚 |
| 地址： | 日本国大阪府大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种指示器、以及使用上述指示器的装置的设计及/或管理方法，所述指示器在电子器件制造装置内，能够简便地检测是否均匀地对基板整体进行了选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种的处理。一种指示器，其是在电子器件制造装置中使用的指示器，其特征在于，(1)所述指示器用于检测选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种，(2)所述指示器的形状与在所述电子器件制造装置中使用的基板的形状相同，(3)所述指示器包括变色层，(4)所述变色层由墨液组合物形成，所述墨液组合物通过与选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种发生反应而变色或脱色。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子器件 制造 装置 指示器 以及 设计 管理 方法 | ||
【主权项】：
一种指示器，其是在电子器件制造装置中使用的指示器，其特征在于，(1)所述指示器用于检测选自由等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体构成的组中的至少一种，(2)所述指示器的形状与在所述电子器件制造装置中使用的基板的形状相同，(3)所述指示器包括变色层，(4)所述变色层由墨液组合物形成，所述墨液组合物通过与选自由等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体构成的组中的至少一种发生反应而变色或脱色，(5)通过所述变色层的变色或脱色，检测是否均匀地对所述基板整体进行了所述电子器件制造装置内的选自由等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体构成的组中的至少一种的处理。
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