[发明专利]支承玻璃基板及使用其的搬送体在审
| 申请号： | 201480031817.3 | 申请日： | 2014-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105307993A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 三和晋吉;池田光 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/091 | 分类号： | C03C3/091;C03C3/093;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 支承加工基板且难以使加工基板的尺寸变化发生变化的支承玻璃基板，其特征在于，20～200℃的温度范围内的平均线热膨胀系数为50×10-7/℃以上且66×10-7/℃以下。 | ||
| 搜索关键词： | 支承 玻璃 使用 搬送体 | ||
【主权项】：
一种支承玻璃基板，其特征在于，20～200℃的温度范围内的平均线热膨胀系数为50×10‑7/℃以上且66×10‑7/℃以下。
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