[发明专利]切割膜和切割晶片粘合膜有效

专利信息
申请号: 201480031647.9 申请日: 2014-12-29
公开(公告)号: CN105264033B 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: S·R·金;曹正镐;金荣国;金熹正;李光珠;金丁鹤;南承希 申请(专利权)人: 株式会社LG化学
主分类号: C09J7/20 分类号: C09J7/20;C09J133/04;C09J163/00;H01L21/301
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 顾晋伟
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种切割膜,其包括:基底膜;和粘合层,其中所述粘合层的储能模量在30℃下为3.0*105至4.0*106Pa,所述粘合层的交联度为80%至99%,还涉及一种包括所述切割膜的切割晶片粘合膜、及使用所述切割晶片粘合膜的半导体晶圆的切割方法。
搜索关键词: 切割 晶片 粘合
【主权项】:
1.一种切割膜,其包含:基底膜;和粘合层,其中:所述粘合层的储能模量在30℃下为3.0*105至4.0*106Pa,所述粘合层的储能模量在80℃下为1.0*105Pa以上,并且所述粘合层的交联度为85%至98%,其中,所述粘合层包含粘结树脂、光引发剂和交联剂,并且所述粘结树脂包括玻璃化转变温度为-28℃至-58℃的(甲基)丙烯酸酯类树脂,其中,所述粘合层还包含1至400重量份的紫外线可固化化合物,基于100重量份的所述粘结树脂计;并且包含于所述紫外线可固化化合物主链中的可交联官能团以5mol%至90mol%的量被取代,其中所述粘合层包含0.1至20重量份的光引发剂和0.1至40重量份的交联剂,基于100重量份的粘结树脂计。
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