[发明专利]光子发射器阵列有效
| 申请号: | 201480030536.6 | 申请日: | 2014-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN105358960B | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
| 发明(设计)人: | J·艾和;D·董 | 申请(专利权)人: | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01N21/27;G01N21/88;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 本文提供了一种设备,包括:至少两个光子发射器,各自具有预选的偏振取向且被配置为将偏振光子发射到物品的表面上;以及处理装置,配置为处理对应于从该物品的表面特征散射的光子的光子检测器阵列信号并从该光子检测器阵列信号中产生该物品的一个或多个表面特征映射,该光子检测器阵列信号对应于从该物品的表面特征散射的光子。 | ||
| 搜索关键词: | 光子 发射器 阵列 | ||
【主权项】:
1.一种用于检测表面特征的设备,包括:光子发射器阵列,包括配置为将相干和取向为第一偏振取向的偏振光子发射到物品的表面的位置上的第一多个光子发射器,以及配置为将相干和取向为第二偏振取向的偏振光子发射到所述物品的表面上的第二多个光子发射器,其中所述第二多个光子发射器发射到所述表面的与所述第一多个光子发射器相同的位置上;光子检测器,配置为接收从所述物品的表面上的特征散射的光子;以及映射装置,基于从所述光子检测器接收的信息映射所述物品的表面上的特征。
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