[发明专利]光子发射器阵列

说明书

本文提供了一种设备，包括：至少两个光子发射器，各自具有预选的偏振取向且被配置为将偏振光子发射到物品的表面上；以及处理装置，配置为处理对应于从该物品的表面特征散射的光子的光子检测器阵列信号并从该光子检测器阵列信号中产生该物品的一个或多个表面特征映射，该光子检测器阵列信号对应于从该物品的表面特征散射的光子。

交叉引用

本申请要求2013年5月30日提交的美国临时专利申请No.61/829,171的权益。

背景

在生产线上制造的物品可被检查某些特征，包括可使物品或包括该物品的系统的性能变差的缺陷。例如，硬盘驱动器的硬盘可在生产线上被制造并且可被检查某些表面特征，包括可劣化硬盘或硬盘驱动器的性能的表面和次表面缺陷。在一些情况下，可使用成像设备来执行检查，该成像设备包含相机和在该相机记录该物品的图像时照射该物品的光源。在这种安排下，理解到光源可能用强度不够的随机偏振光和/或通过偏振滤光片所偏振的光来照射物品，这可能导致一些检测不到的缺陷从而影响该物品和/或包含该物品的系统的性能。

发明内容

本文提供了一种设备，包括：至少两个光子发射器，各自具有预选的偏振取向且被配置为将偏振光子发射到物品的表面上；以及处理装置，配置为处理对应于从该物品的表面特征散射的光子的光子检测器信号并从该光子检测器信号中产生该物品的一个或多个表面特征映射，该光子检测器信号对应于从该物品的表面特征散射的光子。

参考以下附图、描述以及所附权利要求书将更佳地理解本文提供的概念的这些和其它特征和方面。

附图说明

图1示出根据各实施例的一个方面的针对物品的表面特征检测和检查所配置的设备。

图2示出了根据各实施例的一个方面的从物品的表面特征散射的光子通过光学设置并到达光子检测器阵列上的示意图。

图3示出根据各实施例的一个方面的针对表面特征所检查的物品的表面特征的特写局部映射。

图4提供了根据各实施例的一个方面的图3中示出的表面特征映射的一部分的特写图。

根据本实施例的各方面，图5A(顶)提供了来自图4中提供的表面特征映射的对应表面特征的特写图的说明性示例，而图5A(底)提供了该表面特征的光子散射强度分布。

根据本实施例的各方面，图5B(顶)提供了图5A中描绘的表面特征的特写、像素-内插图像，而图5B(底)提供了该像素-内插表面特征的光子散射强度分布。

图6示出根据各实施例的一个方面的光子发射器阵列。

具体实施方式

在更加详细地描述和/或示出一些特定实施例之前，本领域技术人员应该理解的是本文提供的特定实施例不限制本文提供的概念，因为这种特定实施例中的元素可以变化。同样地应当理解，本文中所提供的特定实施例具有可容易地与特定实施例分离的元素并且该元素可选择性地结合或代替本文中所描述和/或示出的若干其它实施例中的任何一个中的元素。