[发明专利]光子发射器阵列

权利要求书

1.一种用于检测表面特征的设备，包括：

光子发射器阵列，包括

配置为将相干和取向为第一偏振取向的偏振光子发射到物品的表面的位置上的第一多个光子发射器，以及

配置为将相干和取向为第二偏振取向的偏振光子发射到所述物品的表面上的第二多个光子发射器，其中所述第二多个光子发射器发射到所述表面的与所述第一多个光子发射器相同的位置上；

光子检测器，配置为接收从所述物品的表面上的特征散射的光子；以及

映射装置，基于从所述光子检测器接收的信息映射所述物品的表面上的特征。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，

所述第一多个光子发射器中的一个光子发射器被配置为发射第一波长的光子而所述第二多个光子发射器中的另一个光子发射器被配置为发射第二波长的光子；以及

所述第一和第二波长是不同的。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一多个光子发射器被配置为将发射的光子从一个偏振取向选择性地改变到另一个偏振取向。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一多个光子发射器中的一个或所述第二多个光子发射器中的一个是固态二极管。

5.如权利要求1所述的设备，其特征在于，相对于所述第一多个光子发射器的一个光子发射器平行地安排所述第一多个光子发射器的另一个光子发射器。

6.如权利要求1所述的设备，进一步包括耦合至所述光子检测器的远心透镜。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述光子检测器包括互补金属氧化物半导体(CMOS)、科学互补金属氧化物半导体(“sCMOS”)或电荷耦合器件(CCD)。

8.一种用于检测表面特征的设备，包括：

光子发射器阵列，包括

配置为将相干和取向为第一偏振取向的偏振光子发射到物品的表面的位置上的第一多个光子发射器；以及

配置为将相干和取向为第二偏振取向的偏振光子发射到所述物品的表面上的第二多个光子发射器，其中所述第二多个光子发射器发射到所述表面的与所述第一多个光子发射器相同的位置上；

光子检测器，配置为接收从所述物品的表面上的特征散射的光子，其中所述光子检测器进一步配置为同时接收取向为所述第一和第二偏振取向的光子；以及

映射装置，基于从所述光子检测器接收的信息映射所述物品的表面上的特征。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第一多个光子发射器被配置为将发射的光子从所述第一偏振取向选择性地改变到另一个取向。

10.如权利要求8所述的设备，其特征在于，

所述第一多个光子发射器中的一个光子发射器被配置为发射第一波长的光子而所述第二多个光子发射器中的另一个光子发射器被配置为发射第二波长的光子；以及

所述第一和第二波长是不同的。

11.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第一和第二多个光子发射器被配置为同时发射光子。

12.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第一和第二多个光子发射器被配置为基于光子发射器特性异步地发射光子。

13.如权利要求12所述的设备，其特征在于，所述光子发射器特性包括所述第一和第二多个光子发射器中的光子发射器的偏振取向、由所述光子发射器发射的光子波长、或偏振取向与光子波长的组合。