[发明专利]圆盘状玻璃基板、磁盘用玻璃基板、磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘有效
申请号: | 201480023887.4 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN105164751B | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 鹿岛隆一 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/73 | 分类号: | G11B5/73;C03C19/00;G11B5/82;G11B5/84 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 具备一对主表面的圆盘状玻璃基板,其通过被保持于研磨载具且主表面被研磨而成为磁盘用玻璃基板,外周的圆度为1.3μm以下。在求出根据所述圆盘状玻璃基板的外周的一周的形状即第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值;求出根据对第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波得到的第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时,第2峰计数值与第1峰计数值之比在0.2以下。 | ||
搜索关键词: | 圆盘 玻璃 磁盘 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种圆盘状玻璃基板,其具备一对主表面,通过被保持于研磨载具且主表面被研磨而成为磁盘用玻璃基板,其特征在于,所述圆盘状玻璃基板的外周的圆度为1.3μm以下,在求出根据第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值,并求出根据第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时,所述第2峰计数值与所述第1峰计数值之比在0.2以下,其中,所述第1轮廓线是所述圆盘状玻璃基板的外周的一周的形状,所述第2轮廓线是对所述第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波而得到的。
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