[发明专利]圆盘状玻璃基板、磁盘用玻璃基板、磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘有效
| 申请号: | 201480023887.4 | 申请日: | 2014-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN105164751B | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
| 发明(设计)人: | 鹿岛隆一 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
| 主分类号: | G11B5/73 | 分类号: | G11B5/73;C03C19/00;G11B5/82;G11B5/84 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 圆盘 玻璃 磁盘 制造 方法 | ||
1.一种圆盘状玻璃基板,其具备一对主表面,通过被保持于研磨载具且主表面被研磨而成为磁盘用玻璃基板,其特征在于,
所述圆盘状玻璃基板的外周的圆度为1.3μm以下,
在求出根据第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值,并求出根据第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时,所述第2峰计数值与所述第1峰计数值之比在0.2以下,其中,所述第1轮廓线是所述圆盘状玻璃基板的外周的一周的形状,所述第2轮廓线是对所述第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波而得到的。
2.根据权利要求1所述的圆盘状玻璃基板,其特征在于,
外周端面的表面粗糙度为算术平均粗糙度Ra在0.02μm以下。
3.根据权利要求1或2所述的圆盘状玻璃基板,其特征在于,
该圆盘状玻璃基板的外径大于2.5英寸尺寸的磁盘用玻璃基板。
4.根据权利要求1或2所述的圆盘状玻璃基板,其特征在于,
该圆盘状玻璃基板的至少外周侧端面形成有与主表面垂直的侧壁面、和连接侧壁面与主表面的倒角面,所述侧壁面或所述倒角面的表面粗糙度为算术平均粗糙度Ra在0.02μm以下。
5.一种磁盘用玻璃基板,其具有一对主表面,其特征在于,
所述玻璃基板的外周的圆度为1.3μm以下,
在求出根据第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值,并求出根据第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时,所述第2峰计数值与所述第1峰计数值之比在0.2以下,其中,所述第1轮廓线是所述玻璃基板的外周的一周的形状,所述第2轮廓线是对所述第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波而得到的。
6.根据权利要求5所述的磁盘用玻璃基板,其特征在于,
所述主表面的算术平均粗糙度Ra为0.15nm以下。
7.根据权利要求5或6所述的磁盘用玻璃基板,其特征在于,
所述磁盘用玻璃基板的外周侧端面形成有侧壁面、和配置于所述一对主表面与该侧壁面之间的一对倒角面,
所述侧壁面或所述倒角面的表面粗糙度为算术平均粗糙度Ra在0.02μm以下。
8.一种磁盘,其特征在于,在权利要求5或6所述的磁盘用玻璃基板的主表面上形成有磁性层。
9.一种圆盘状玻璃基板的制造方法,具有:
使用研磨刷对圆盘状玻璃基板的外周端面进行研磨的端面研磨处理,其特征在于,
在所述端面研磨处理中,
所述圆盘状玻璃基板的外周的圆度为1.3μm以下,
对外周端面进行研磨,以使得在求出根据第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值,并求出根据第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆,将所述第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时,所述第2峰计数值与所述第1峰计数值之比在0.2以下,其中,所述第1轮廓线是所述圆盘状玻璃基板的外周的一周的形状,所述第2轮廓线是对所述第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波而得到的。
10.一种磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于,具有主表面研磨处理,在该主表面研磨处理中,在利用载具对通过权利要求9记载的圆盘状玻璃基板的制造方法制造出的圆盘状玻璃基板进行保持的同时,对所述圆盘状玻璃基板的主表面进行研磨。
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