[发明专利]圆盘状玻璃基板、磁盘用玻璃基板、磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘

说明书

具备一对主表面的圆盘状玻璃基板，其通过被保持于研磨载具且主表面被研磨而成为磁盘用玻璃基板，外周的圆度为1.3μm以下。在求出根据所述圆盘状玻璃基板的外周的一周的形状即第1轮廓线使用最小平方法得到的基准圆，将第1轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第1峰计数值；求出根据对第1轮廓线施加以每一周的凸起峰数量为150个的周期为截止值的低通滤波得到的第2轮廓线使用最小平方法得到的基准圆，将第2轮廓线的比该基准圆向半径方向的外侧突出的凸起峰的数量设为第2峰计数值时，第2峰计数值与第1峰计数值之比在0.2以下。

技术领域

本发明涉及用于得到磁盘用玻璃基板的圆盘状玻璃基板、以及磁盘用玻璃基板、磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive)。特别是在笔记本型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上方略微悬浮的磁头对磁性层记录磁记录信息或从磁性层读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于玻璃基板具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性形变的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置的存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化，在该垂直磁记录方式中，使磁性层的磁化方向为与基板面垂直的方向。由此，能够增大1张磁盘基板的存储容量。并且，为了进一步增大存储容量，还通过使磁头的记录再现元件部进一步突出，从而极大地缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。另外，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height：动态飞行高度)控制机构，配备了该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用玻璃基板的主表面，为了避免与磁头或从磁头进一步突出的记录再现元件部之间的碰撞或接触，将该主表面制作成极为平滑的表面。

磁盘中记录有用于使磁头在数据轨道(data track)上定位的伺服信息。以往，已知当降低磁盘外周侧的端面(以下，也称为“外周端面”。)的圆度时，磁头的悬浮稳定，良好地进行伺服信息的读取，磁头进行的读写稳定。例如，在以下的专利文献1所记载的技术中，记载了在形成玻璃基板的外周侧的端部的成型工序中，根据分别形成两个不同波长的起伏的两个条件进行加工。由此，能够消除玻璃基板的外周端面的起伏，得到较高的圆度。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－157968号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，已知当在磁盘用玻璃基板上成膜磁记录层来制作磁盘时，存在附着了被认为是源自磁盘用玻璃基板的极其微小的玻璃成分的异物的情况。当在这样的异物附着于磁盘用玻璃基板的状态下制造磁盘时，由于该异物而容易产生磁头划碰故障和热粗糙故障等缺陷。

因而，本发明的目的在于，提供一种在制造磁盘用玻璃基板的过程中抑制了玻璃成分异物的产生的圆盘状玻璃基板、以及磁盘用玻璃基板、磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘。

用于解决课题的手段

本申请的发明人为了探明在制造磁盘用玻璃基板的过程中产生极其微小的玻璃成分的异物的原因，进行了深入研究。其结果是，有时在玻璃基板的外周端面的全周产生点状或者线状的破损(damage)，上述异物被推断为是在产生上述破损时产生的。另外，玻璃基板的外周端面的破损有时将激光显微镜的倍率设定得相当大也难以发现，是比以往所推测的破损微小的破损。