[发明专利]多孔质膜的缺陷检测方法及缺陷检查装置

摘要

根据检测信号确切地判断由于多孔质膜的缺陷而产生的信号，尤其是准确地检测多孔质中空丝膜的缺陷。多孔质中空丝膜的缺陷检查装置的缺陷检测方法具有：计测步骤，以规定的取样周期计测来自受光部的信号；分离步骤，将所计测的信号分离为由于来自缺陷的气泡产生的信号部分和噪声信号部分；以及输出步骤，将由于气泡而产生的信号部分作为多孔质中空丝膜的缺陷检查结果而输出。

主权项

一种缺陷检测方法，是多孔质中空丝膜的缺陷检查装置的缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检查装置具有：容器，收容有液体；流路部件，以贯通该流路部件的内部的方式形成有使多孔质中空丝膜连续通过的中空丝膜行进流路、以及从该中空丝膜行进流路分支并通过一壁面的分支流路，并且所述中空丝膜行进流路的两端的开口配置于所述液体中且流路内由所述液体充满；限制单元，以所述多孔质中空丝膜通过所述流路部件的中空丝膜行进流路内的液体中的方式限制所述多孔质中空丝膜的行进；液体抽吸单元，其经由所述分支流路抽吸所述流路部件的中空丝膜行进流路内的液体，使所述中空丝膜行进流路内的液体的压力降低；以及气泡检测单元，具有向所述液体中射入检查光的出光部和接收在所述液体中透射了的检查光的受光部，检测从所述多孔质中空丝膜的缺陷被吸出到所述液体中的气泡，所述缺陷检测方法具有：计测步骤，以规定的取样周期计测来自所述受光部的信号；分离步骤，将所计测的所述信号分离为由于来自缺陷的气泡而产生的信号部分和噪声信号部分；以及输出步骤，将由于气泡而产生的信号部分作为多孔质中空丝膜的缺陷检查结果而输出。