[发明专利]多孔质膜的缺陷检测方法及缺陷检查装置在审
申请号: | 201480019648.1 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN105102953A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 平冈康太郎;隅敏则;藤木浩之 | 申请(专利权)人: | 三菱丽阳株式会社 |
主分类号: | G01M3/06 | 分类号: | G01M3/06;B01D65/10 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 梅高强;张丽颖 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多孔 质膜 缺陷 检测 方法 检查 装置 | ||
1.一种缺陷检测方法,是多孔质中空丝膜的缺陷检查装置的缺陷检测方法,其特征在于,所述缺陷检查装置具有:
容器,收容有液体;
流路部件,以贯通该流路部件的内部的方式形成有使多孔质中空丝膜连续通过的中空丝膜行进流路、以及从该中空丝膜行进流路分支并通过一壁面的分支流路,并且所述中空丝膜行进流路的两端的开口配置于所述液体中且流路内由所述液体充满;
限制单元,以所述多孔质中空丝膜通过所述流路部件的中空丝膜行进流路内的液体中的方式限制所述多孔质中空丝膜的行进;
液体抽吸单元,其经由所述分支流路抽吸所述流路部件的中空丝膜行进流路内的液体,使所述中空丝膜行进流路内的液体的压力降低;以及
气泡检测单元,具有向所述液体中射入检查光的出光部和接收在所述液体中透射了的检查光的受光部,检测从所述多孔质中空丝膜的缺陷被吸出到所述液体中的气泡,所述缺陷检测方法具有:
计测步骤,以规定的取样周期计测来自所述受光部的信号;
分离步骤,将所计测的所述信号分离为由于来自缺陷的气泡而产生的信号部分和噪声信号部分;以及
输出步骤,将由于气泡而产生的信号部分作为多孔质中空丝膜的缺陷检查结果而输出。
2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法,其特征在于,
所述分离步骤具有:
二值化步骤,使用规定的阈值将所计测的所述信号二值化为由信号强度1和信号强度0构成的信号;
第1判断步骤,在由所述二值化步骤进行了二值化的信号从信号强度1变化为信号强度0时,判断是否自信号强度从信号强度1变化为信号强度0时起在规定的有效无效判断时间以内信号强度从信号强度0再次变为信号强度1;
第1处理步骤,在所述第1判断步骤中判断为信号强度在所述有效无效判断时间以内变化为信号强度1的情况下,将自信号强度从所述信号强度1变化为信号强度0时起到信号强度从所述信号强度0再次变化为信号强度1时为止的期间的信号强度修正处理成1;
第2判断步骤,在所述第1判断步骤中判断为信号强度在所述有效无效判断时间以内未变为信号强度1的情况下,判断在信号强度变为0之前处于信号强度1的状态的时间是否持续了规定的有效判断时间以上;以及
第3判断步骤,对于由所述第1处理步骤修正后的信号以及在所述第2判断步骤中判断为信号强度变为0之前处于信号强度1的状态的时间持续了所述有效判断时间以上的信号,进一步判断信号强度1的状态是否持续了规定的最小持续时间以上。
3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法,其特征在于,
所述输出步骤中,在所述第3判断步骤中判断为信号强度1的状态持续了所述最小持续时间以上的情况下,输出多孔质膜存在缺陷的检查结果。
4.根据权利要求3所述的缺陷检测方法,其特征在于,
还具有第2处理步骤,该第2处理步骤,在所述第2判断步骤中判断为在信号强度变为0之前处于信号强度1的状态的时间未持续所述有效判断时间以上的情况下,将该信号强度1的部分修正处理成信号强度0。
5.根据权利要求3或4所述的缺陷检测方法,其特征在于,
在所述第3判断步骤中判断为信号强度1的状态未持续所述最小持续时间以上的情况下,在所述输出步骤中输出多孔质膜不存在缺陷的检查结果。
6.根据权利要求1所述的缺陷检测方法,其特征在于,
所述分离步骤具有对所计测的所述信号进行移动平均化处理的步骤。
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