[发明专利]复合终端效应器及用于制作复合终端效应器的方法有效

专利信息
申请号: 201480013989.8 申请日: 2014-03-12
公开(公告)号: CN105074900B 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 保罗·E·佩敢堵;保罗·福德哈斯 申请(专利权)人: 瓦里安半导体设备公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 美国麻萨诸塞*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请提供一种终端效应器及用于制作终端效应器的方法。终端效应器包含基底、从基底延伸的多个指状物,以及设置在指状物中的每一个上以支撑基板的多个垫。指状物包括碳纤维材料且从靠近基底的第一直径和第一壁厚度渐细为远离基底的比第一直径小的第二直径以及比所述第一壁厚度小的第二壁厚度。所述方法包含沿着多个渐细指状物粘附多个垫,以及将多个渐细指状物的近端与基底的对应凹部粘附在一起。将经组装的垫、渐细指状物和基底放置在固定件上,使得多个垫的顶部表面搁置在固定件的顶部表面上,且将组合件固持在固定件上的适当位置,直到粘合剂已在室温下固化为止。上述终端效应器具有增加的自然频率约73赫兹。
搜索关键词: 复合 终端 效应器
【主权项】:
1.一种终端效应器,其特征在于包括:基底,所述基底包括彼此相对定位的顶部板和底部板以及设置在所述顶部板与所述底部板之间的多个肋状物;从所述基底延伸的多个指状物,所述指状物包括碳纤维材料,所述指状物中的每一个从靠近所述基底的第一直径和第一壁厚度渐细为远离所述基底的比所述第一直径小的第二直径以及比所述第一壁厚度小的第二壁厚度;以及多个垫,设置在所述指状物中的每一个上以支撑至少一个基板,其中所述多个肋状物之间具有多个开口,所述多个开口容纳所述多个指状物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司,未经瓦里安半导体设备公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201480013989.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top