[发明专利]透明板状体表面检查用摄像系统有效

专利信息
申请号: 201480009296.1 申请日: 2014-02-12
公开(公告)号: CN105008854B 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 木村友纪;金子静则;有田祐介 申请(专利权)人: AGC株式会社
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30;G01B11/24;G01N21/896
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 高培培;车文
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种透明板状体表面检查用摄像系统,线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既未平行也未垂直的情况下,利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象,并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。光源(1)在玻璃板(71)未产生变形这样的条件下,配置在从线路传感器相机(2)朝向视野(5)的光线路径由玻璃板(71)反射的延长方向上。光源(1)的条纹图案的照射面的朝向以该照射面沿着玻璃板(71)的行进方向投影的结果成为线段的方式确定。而且,在该照射面上成为条纹图案的暗部的线与玻璃板(71)的搬运方向平行。
搜索关键词: 透明板状体 玻璃板 线路传感器 表面检查 光线路径 摄像系统 条纹图案 反射光 光源 搬运 照射 相机 线段 方式确定 方向平行 方向投影 垂直的 照射面 暗部 板厚 表侧 反射 变形 垂直 行进 视野 配置
【主权项】:
1.一种透明板状体表面检查用摄像系统,其特征在于,具备:线路传感器相机,从倾斜方向拍摄被搬运的透明板状体,且以视野与所述透明板状体的搬运方向正交的方式配置;及光源,在所述透明板状体没有产生变形的条件下,配置在从所述线路传感器相机朝向该线路传感器相机的视野的光线路径由所述透明板状体反射的延长方向上,并且所述光源照射条纹图案,所述光源的条纹图案的照射面的朝向以将该照射面沿着透明板状体的行进方向投影的结果是成为线段的方式确定,在所述照射面上成为条纹图案的暗部的线与所述透明板状体的搬运方向平行。
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