[发明专利]透明板状体表面检查用摄像系统

说明书

提供一种透明板状体表面检查用摄像系统，线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既未平行也未垂直的情况下，利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象，并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。光源(1)在玻璃板(71)未产生变形这样的条件下，配置在从线路传感器相机(2)朝向视野(5)的光线路径由玻璃板(71)反射的延长方向上。光源(1)的条纹图案的照射面的朝向以该照射面沿着玻璃板(71)的行进方向投影的结果成为线段的方式确定。而且，在该照射面上成为条纹图案的暗部的线与玻璃板(71)的搬运方向平行。

技术领域

本发明涉及透明板状体的表面形状的检查所用的、取得在光源摄像时因透明板状体表面的反射而产生的光线路径变化所形成的像的透明板状体表面检查用摄像系统。

背景技术

作为检查玻璃板的表面的微小的变形的方法的一例，已知有如下的方法：使用线路传感器相机(line sensor camera)，顺着在玻璃板的表面处反射了的光线路径而拍摄光源的条纹图案(stripe pattern)，基于通过拍摄而得到的图像数据来检查玻璃板表面的变形的有无、变形的程度。此时，作为条纹图案，经常使用的是作为暗部的线以一定间隔配置的图案。需要说明的是，检查对象的玻璃板在沿一定方向搬运的状态下被照射条纹图案。拍摄的结果得到的图像中出现与条纹图案的暗部对应的痕纹。需要说明的是，线路传感器相机的各像素的大小相同且等间隔地排列。

图9是表示光源与线路传感器相机之间的一般的光的路径的说明图。将对玻璃板71进行支承的支承部72所存在的一侧称为背侧，将其相反侧称为表侧。图9所示的实线表示在玻璃板71的表侧的面处反射了的光的路径。而且，图9所示的虚线表示在玻璃板71的背侧的面处反射了的光的路径。需要说明的是，图9所示的距离P取决于玻璃板71的板厚。

作为产生图9所示的距离P的分离现象的光源和线路传感器相机的配置形态，可考虑图10所示的形态。图10所示的箭头表示玻璃板71的搬运方向。此时，在与玻璃板71的搬运方向垂直的平面内，包括从线路传感器相机82延伸的光线路径的起点、线路传感器相机82的视野85、沿着光源81的矩形的照射面的长度方向的该照射面的中心线。

由此，图10所示的配置形态对应于线路传感器相机82的光线路径中心存在的平面与玻璃板垂直且与玻璃板的搬运方向垂直的情况。

在此，相机的光轴是指通过相机的透镜的中心且与其透镜面垂直的垂线。并且，光线路径中心是指如下的光线路径：包括与线路传感器相机的光轴一致的光线路径和从与该光线路径对应的玻璃板(假定为未产生变形)的反射点到光源为止的光线路径。

图10示出在与玻璃板71的搬运方向垂直的平面内，光源81向玻璃板71照射条纹图案，线路传感器相机82经由玻璃板71来拍摄光源81的形态。此时，在玻璃板的表侧的面及背侧的面上分别反射光，因此条纹图案的1条暗部所对应的痕纹在图像内出现2条。

图11是表示通过摄像而得到的图像的例子的示意图。在图11中，通过在表侧的面处的反射而产生的痕纹如实线所示，通过在背侧的面处的反射而产生的痕纹示意性地如虚线所示。这两种痕纹彼此的距离记为分离距离D。在对应于这两种痕纹的部位，亮度值变得极小。由表侧的面处的反射产生的痕纹与由背侧的面处的反射产生的痕纹的分离距离D成为取决于玻璃板的板厚的大小。

需要说明的是，例如，若通过表侧的面处的反射产生的痕纹彼此的间隔一定，则能够判断为玻璃板未产生变形。而且，若该间隔不均，则基于该间隔，能够评价玻璃板的变形的程度。