[发明专利]透明板状体表面检查用摄像系统

权利要求书

1.一种透明板状体表面检查用摄像系统，其特征在于，具备：

线路传感器相机，从倾斜方向拍摄被搬运的透明板状体，且以视野与所述透明板状体的搬运方向正交的方式配置；及

光源，在所述透明板状体没有产生变形的条件下，配置在从所述线路传感器相机朝向该线路传感器相机的视野的光线路径由所述透明板状体反射的延长方向上，并且所述光源照射条纹图案，

所述光源的条纹图案的照射面的朝向以将该照射面沿着透明板状体的行进方向投影的结果是成为线段的方式确定，

在所述照射面上成为条纹图案的暗部的线与所述透明板状体的搬运方向平行。

2.根据权利要求1所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

在透明板状体没有产生变形的条件下，包含与线路传感器相机的光轴一致的光线路径和从与该光线路径对应的所述透明板状体上的反射点到光源为止的光线路径的平面，满足与透明板状体的搬运方向既不平行也不垂直这样的条件。

3.根据权利要求1所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

所述透明板状体表面检查用摄像系统具备多个由所述线路传感器相机与所述光源组成的组，由所述线路传感器相机与所述光源组成的各组以各线路传感器相机的视野排列在直线上的方式配置。

4.根据权利要求2所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

所述透明板状体表面检查用摄像系统具备多个由所述线路传感器相机与所述光源组成的组，由所述线路传感器相机与所述光源组成的各组以各线路传感器相机的视野排列在直线上的方式配置。

5.根据权利要求1～权利要求4中任一项所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

所述透明板状体表面检查用摄像系统具有将透明板状体的背面反射消去的背面反射消去单元。

6.一种透明板状体表面检查用摄像系统，其特征在于，具备：

线路传感器相机，拍摄被搬运的透明板状体，且以视野与所述透明板状体的搬运方向正交的方式配置；及

光源，具有矩形的照射面，并从该照射面照射条纹图案，

以如下方式配置所述线路传感器相机及所述光源：从包含从所述线路传感器相机延伸的光线路径的起点、所述线路传感器相机的视野、沿着所述照射面的长度方向的所述照射面的中心轴的平面与所述搬运方向正交的状态起，以所述视野为中心轴使所述线路传感器相机及所述光源成为相互反向旋转的状态，

所述光源的条纹图案的照射面的朝向以将该照射面沿着透明板状体的行进方向投影的结果是成为线段的方式确定，

在所述照射面上成为条纹图案的暗部的线与所述透明板状体的搬运方向平行。

7.根据权利要求6所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

所述透明板状体表面检查用摄像系统具备多个由所述线路传感器相机与所述光源组成的组，由所述线路传感器相机与所述光源组成的各组以各线路传感器相机的视野排列在直线上的方式配置。

8.根据权利要求6或权利要求7所述的透明板状体表面检查用摄像系统，其中，

所述透明板状体表面检查用摄像系统具有将透明板状体的背面反射消去的背面反射消去单元。