[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法有效
| 申请号: | 201480004546.2 | 申请日: | 2014-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN104919305B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
| 发明(设计)人: | 尾崎麻耶 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;G06T1/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 李国华 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种缺陷检查装置。在缺陷检查装置(100)中,图像生成装置(1)的处理图像生成部(61),生成由针对缺陷像素存储有表示与特征量相应的灰度值的灰度信息、针对剩余像素存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据,分析用图像生成部(62),按照每个像素,生成由在所述灰度信息存储位串中附加存储有缺陷信息的缺陷信息存储位串而得到分析用位串构成分析用图像数据。 | ||
| 搜索关键词: | 图像 生成 装置 缺陷 检查 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种图像生成装置,生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据,其特征在于,具有:输送部,其在该薄片状成形体的长边方向上输送薄片状成形体;光照射部,其具有在与薄片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源,且由该光源向薄片状成形体照射光;拍摄部,其对由所述输送部输送中的薄片状成形体进行拍摄动作,生成表示二维图像的二维图像数据;特征量计算部,其通过1种或多种算法处理,根据各像素的亮度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量;处理图像数据生成部,其将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述剩余像素由存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据;缺陷信息获取部,其根据所述处理图像数据,按照每个像素,获取针对薄片状成形体中的缺陷的缺陷信息,并生成存储有所获取到的该缺陷信息的缺陷信息存储位串;以及分析用图像数据生成部,其生成由按照每个像素在所述处理图像数据的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用位串构成的分析用图像数据。
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