[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法有效

专利信息
申请号: 201480004546.2 申请日: 2014-01-15
公开(公告)号: CN104919305B 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 尾崎麻耶 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892;G06T1/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 李国华
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 图像 生成 装置 缺陷 检查 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种图像生成装置,生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据,其特征在于,具有:

输送部,其在该薄片状成形体的长边方向上输送薄片状成形体;

光照射部,其具有在与薄片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源,且由该光源向薄片状成形体照射光;

拍摄部,其对由所述输送部输送中的薄片状成形体进行拍摄动作,生成表示二维图像的二维图像数据;

特征量计算部,其通过1种或多种算法处理,根据各像素的亮度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量;

处理图像数据生成部,其将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述剩余像素由存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据;

缺陷信息获取部,其根据所述处理图像数据,按照每个像素,获取针对薄片状成形体中的缺陷的缺陷信息,并生成存储有所获取到的该缺陷信息的缺陷信息存储位串;以及

分析用图像数据生成部,其生成由按照每个像素在所述处理图像数据的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用位串构成的分析用图像数据。

2.根据权利要求1所述的图像生成装置,其特征在于,

所述缺陷信息包括表示薄片状成形体中的缺陷的种类的缺陷种类信息。

3.根据权利要求2所述的图像生成装置,其特征在于,

所述特征量计算部通过多种算法处理来计算所述特征量,

所述缺陷信息获取部,根据每个像素的所述灰度信息存储位串的灰度信息是否是与由所述多种算法处理之中的任一种算法处理计算出的特征量相应的灰度信息,来获取包含所述缺陷种类信息的所述缺陷信息。

4.一种缺陷检查装置,具有:

权利要求1~3的任一项所述的图像生成装置;和

图像分析装置,其使用在构成由所述图像生成装置的分析用图像数据生成部生成的分析用图像数据的分析用位串中所存储的信息来进行预定的图像分析,由此检测薄片状成形体的缺陷。

5.一种缺陷检查方法,用于检查薄片状成形体的缺陷,包括:

将薄片状成形体在该薄片状成形体的长边方向上输送的输送工序;

通过在薄片状成形体的与长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源,向所输送的所述薄片状成形体照射光的光照射工序;

对输送中的所述薄片状成形体进行拍摄动作,以生成表示二维图像的二维图像数据的拍摄工序;

通过1种或多种算法处理,根据各像素的亮度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量的特征量计算工序;

将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述剩余像素由存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据的处理图像数据生成工序;

根据所述处理图像数据,按照每个像素,获取针对薄片状成形体中的缺陷的缺陷信息,生成存储有所获取到的该缺陷信息的缺陷信息存储位串的缺陷信息获取工序;

生成由按照每个像素在所述处理图像数据的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用位串构成的分析用图像数据的分析用图像数据生成工序;以及

使用在构成所述分析用图像数据的所述分析用位串中所存储的信息来进行预定的图像分析,由此检测薄片状成形体的缺陷的图像分析工序。

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