[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及生成用于检查偏振膜或相位差膜等薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置、具有该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。

背景技术

以往，缺陷检查装置使用被称为线性传感器的一维相机，来检查偏振膜或相位差膜等薄片状成形体的缺陷。缺陷检查装置，在通过荧光管等线状光源对薄片状成形体照明的状态下，用线性传感器沿着薄片状成形体的长边方向从长边方向的一端至另一端扫描薄片状成形体表面，并获取多个一维图像数据(静止图像数据)。然后，通过按照获取时间顺序铺满多个一维图像数据来生成二维图像数据，并根据该二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷。

在由线性传感器获取的一维图像数据中，通常包含线状光源像。在薄片状成形体的一个面侧配置有线状光源和线性传感器时，线状光源像是从线状光源射出并被薄片状成形体正反射而到达线性传感器的光的像。此外，在线状光源与线性传感器之间配置有薄片状成形体时，线状光源像是从线状光源射出并透过薄片状成形体而到达线性传感器的光的像。在缺陷检查装置中，薄片状成形体的宽度较宽时，在宽度方向上并排使用多台线性传感器，以使能够检查薄片状成形体的宽度方向整个区域。

在该以往的缺陷检查装置中，根据通过铺满多个一维图像数据而生成的二维图像数据检查薄片状成形体的缺陷，因此，构成二维图像数据的各一维图像数据中的检查对象像素与线状光源像的位置关系，成为一个确定的位置关系。缺陷有时仅在检查对象像素(关注像素)与线状光源像的位置关系处于特定的位置关系时才出现在一维图像数据上。例如，作为缺陷的一种的气泡，大多仅在位于线状光源像的周边或附近时才出现在一维图 像数据上。如此，缺陷有时会由于其位置而未被检测出来。因此，使用通过由线性传感器获取的多个一维图像数据构成的二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷的、上述以往的缺陷检查装置，只具有有限的缺陷检测能力。

作为解决这样的问题点的缺陷检查装置，在JP特开2007-218629号公报(专利文献1)以及JP特开2010-122192号公报(专利文献2)中公开了一种通过荧光管等线状光源对薄片状成形体进行照明，在规定的输送方向上连续输送薄片状成形体的同时，使用称为区域传感器的二维相机来获取二维图像数据(动态图像数据)，并根据该二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷的装置。

根据专利文献1、2所公开的缺陷检查装置，由于能够根据检查对象像素与线状光源像的位置关系不同的多个二维图像数据来判定是否存在缺陷，因此，能够比使用线性传感器的以往的缺陷检查装置更可靠地检测出缺陷。因此，专利文献1、2所公开的使用区域传感器的缺陷检查装置比使用线性传感器的以往的缺陷检查装置缺陷检测能力提高。

发明内容

专利文献1、2所公开的使用区域传感器的缺陷检查装置，需要处理信息量多的二维图像数据。在缺陷检查装置中，虽然以从区域传感器输出的二维图像数据为对象，在通过个人计算机(PC)实现的图像分析部中会对缺陷位置等进行分析，但由于二维图像数据信息量多，因此，基于图像分析部的二维图像数据的分析处理时间有变长的倾向。

在缺陷检查装置中，会根据基于图像分析部的二维图像数据的分析处理速度来控制薄片状成形体的输送速度。若信息量多的二维图像数据的图像分析部的分析处理速度变慢，则需要使薄片状成形体的输送速度降低，检查效率降低。

本发明的目的在于，提供一种在生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置中能够在维持较高的缺陷检测能力的基础上实现基于图像分析部的图像处理的高速化且能够提高检查效率的图像生成装置、具有该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。

本发明提供一种图像生成装置，生成用于检查片状成形体的缺陷的图像数据，该图像生成装置具有：

输送部，其在该片状成形体的长边方向上输送片状成形体；

光照射部，其具有在与片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源，且由该光源向片状成形体照射光；

拍摄部，其对由所述输送部输送中的片状成形体进行拍摄动作，生成表示二维图像的二维图像数据；

特征量计算部，其通过1种或多种算法处理，根据各像素的辉度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量；