[实用新型]用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头有效
| 申请号： | 201420803689.7 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204369972U | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张洪;史俊俊 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述外引线外围套装包覆有散热件，所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设；所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。本实用新型的优点是：不易由于电流的热效应断裂；适用于真空镀膜领域的防污膜料的加热。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 自动化 连续 防污 镀膜 坩埚 加热 | ||
【主权项】：
一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，所述坩埚加热头包括加热片、外引线和对外引线柱，所述外引线一端导通所述加热片，另一端连接外电路，所述对外引线柱由一导电支座支承，其特征在于：所述外引线外围套装包覆有散热件，所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设；所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。
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