[实用新型]用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头有效
申请号: | 201420803689.7 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN204369972U | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 张洪;史俊俊 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 自动化 连续 防污 镀膜 坩埚 加热 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域,尤其涉及用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头。
背景技术
防污膜可应用于触摸屏、镜片和镜头等多个领域。尤其是,近年来随着信息技术的发展,智能手机和平板电脑等产品高度普及;上述触摸屏产品需求的迅猛增长促成了自动化连续式防污膜镀膜装置的开发。
在自动化连续式防污膜镀膜装置中,防污膜的镀膜一般是先将盛有液体防污膜料的坩埚在较低温度下预热,其后再将坩埚送入高温蒸镀室的蒸镀喷头中进行蒸镀。在连续工作模式下,盛有液态防污膜原料的坩埚在预热室和真空镀膜室中往复运动,重复完成加药和蒸镀流程。在上述过程中,除去在真空蒸镀室中蒸镀喷头的加热作用,坩埚的加热是依靠其下面的陶瓷加热片。现有坩埚加热头的结果如图2所示。加热头由陶瓷加热片和支撑结构构成。陶瓷加热片的引线初始端是两种不同导电材料的交界区域。对于这个区域,在实际装配时,通常在陶瓷加热片的外引线上套装上一系列陶瓷管,起到绝缘的作用,其后再将外引线的末端连接在外部电源接口处。
上述装置存在如下缺陷:陶瓷加热片的对外引线的初始部分是两种不同导电材料的交界区域,因此电阻较大,通电状态下产热也较大。在防污膜镀膜过程中,除去滴药流程,防污膜料的预热和蒸镀都是在真空状态下进行加热的。真空状态下,陶瓷加热片引线初始端由于电流产生的热量不利于通过对流和传导方式而耗散,因此,陶瓷加热片引线初始端在长时间的使用后,两种不同的导电材料的焊接区域就会由于热量积聚效应而产生变形以至断裂,使陶瓷加热片不能继续发挥加热功能,影响了连续生产。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足,提供了用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头,在加热片的外引线外围包覆具有良好导热性的散热绝缘件,使得对外引线部分的散热良好、有更大的热容量并且与周围部件绝缘,避免外引线初始端在长时间的使用后,材质不同的引线与加热片因热量积聚效应而使两者的焊接产生变形以至断裂的缺陷。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成:
一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头,所述坩埚加热头包括加热片、外引线和对外引线柱,所述外引线一端导通所述加热片,另一端连接外电路,所述对外引线柱由一导电支座支承,其特征在于:所述外引线外围套装包覆有散热件,所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设;所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。
所述导电支座具有支承孔,所述对外引线柱插装于所述支承孔内并与所述外电路连接;所述导电支座具有连接孔,所述散热件为导电体,其末端插装于所述连接孔内,所述外引线与所述外电路之间通过所述对外引线柱与导电支座的连接配合构成导通。
所述对外引线柱呈螺母状。
所述散热件为铜管或铜块。
所述外引线外围涂覆有散热绝缘层。
所述散热绝缘层为陶瓷胶水层。
本实用新型的优点是:不易由于电流的热效应断裂;适用于真空镀膜领域的防污膜料的加热。
附图说明
图1为本实用新型的第一种结构示意图;
图2为本实用新型的第二种结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明,以便于同行业技术人员的理解:
如图1-2所示,图中标记1-13分别为:支杆1、加热头法兰2、陶瓷管3、散热件4、陶瓷加热片5、加热头支座6、坩埚7、外引线8、对外引线柱9、支承孔10、连接孔11、导电支座12、散热绝缘层13。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰科技(上海)有限公司;,未经光驰科技(上海)有限公司;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420803689.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类