[实用新型]用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头有效
| 申请号： | 201420803689.7 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204369972U | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张洪;史俊俊 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 自动化 连续 防污 镀膜 坩埚 加热 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，所述坩埚加热头包括加热片、外引线和对外引线柱，所述外引线一端导通所述加热片，另一端连接外电路，所述对外引线柱由一导电支座支承，其特征在于：所述外引线外围套装包覆有散热件，所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设；所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述导电支座具有支承孔，所述对外引线柱插装于所述支承孔内并与所述外电路连接；所述导电支座具有连接孔，所述散热件为导电体，其末端插装于所述连接孔内，所述外引线与所述外电路之间通过所述对外引线柱与导电支座的连接配合构成导通。
3.根据权利要求2所述的一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述对外引线柱呈螺母状。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述散热件为铜管或铜块。
5.根据权利要求1所述的一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述外引线外围涂覆有散热绝缘层。
6.根据权利要求1或5所述的一种用于自动化连续式防污膜镀膜的坩埚加热头，其特征在于：所述散热绝缘层为陶瓷胶水层。
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