[实用新型]硅片预清洗台有效
申请号: | 201420731227.9 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN204247596U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 廖文丰 | 申请(专利权)人: | 浙江泰丰太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片预清洗台,包括工作台、开设在工作台上的清洗槽以及设置在清洗槽内的清洗嘴,所述清洗槽槽口处设有用于夹住硅锭的夹持机构,所述夹持机构包括滑块和夹持片,所述滑块与夹持片均呈长方体状,其中夹持片焊接在滑块下方,并设置在滑块长的两端处,所述滑块下方设置有用于放置脱落硅片的放置组件,所述放置组件与滑块可拆卸连接。本实用新型的硅片预清洗台,通过放置组件的设置,就可以有效的将脱落的硅片接住,防止硅片掉落到地上碎裂而导致的不必要的损失,大大降低了硅片的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 硅片 清洗 | ||
【主权项】:
一种硅片预清洗台,包括工作台、开设在工作台上的清洗槽以及设置在清洗槽内的清洗嘴,所述清洗槽槽口处设有用于夹住硅锭的夹持机构,所述夹持机构包括滑块和夹持片,所述滑块与夹持片均呈长方体状,其中夹持片焊接在滑块下方,并设置在滑块长的两端处,其特征在于:所述滑块下方设置有用于放置脱落硅片的放置组件,所述放置组件与滑块可拆卸连接。
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