[实用新型]硅片预清洗台

权利要求书

1.一种硅片预清洗台，包括工作台、开设在工作台上的清洗槽以及设置在清洗槽内的清洗嘴，所述清洗槽槽口处设有用于夹住硅锭的夹持机构，所述夹持机构包括滑块和夹持片，所述滑块与夹持片均呈长方体状，其中夹持片焊接在滑块下方，并设置在滑块长的两端处，其特征在于：所述滑块下方设置有用于放置脱落硅片的放置组件，所述放置组件与滑块可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的硅片预清洗台，其特征在于：所述放置组件包括放置块，所述放置块朝向滑块一侧开设有放置槽，所述放置槽的槽壁及槽底上开设有若干个漏水孔。

3.根据权利要求1所述的硅片预清洗台，其特征在于：所述放置组件为用铁丝制作而成的一面具有开口的长方体状框架，所述开口朝向滑块设置。

4.根据权利要求2所述的硅片预清洗台，其特征在于：所述滑块相对设置的两个侧面上均开设有滑槽，所述清洗槽的槽壁上设有滑轨，所述放置槽的槽壁上设有滑片，所述滑片和滑轨均嵌入滑槽内。

5.根据权利要求3所述的硅片预清洗台，其特征在于：所述滑块相对设置的两个侧面上均开设有滑槽，所述清洗槽的槽壁上设有滑轨，所述开口处设有滑片，所述滑片和滑轨均嵌入滑槽内。