[实用新型]靶材绑定用背板有效
| 申请号： | 201420675762.7 | 申请日： | 2014-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN204224694U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 黄勇彪;林文宝 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材绑定用背板，包括背板本体、设置在所述背板本体内的供冷却水流通的水路，所述水路的进水口和出水口位于所述背板本体侧面或表面。本实用新型的靶材绑定用背板，在背板内部设置水路，冷却水直接在背板内部循环，这样靶材在镀膜时产生的热量更能及时迅速传导到背板内部的冷却水内，通过冷却水的流通带到外部，这样不停循环的冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 绑定 背板 | ||
【主权项】：
一种靶材绑定用背板，其特征在于，包括背板本体（10）、设置在所述背板本体（10）内的供冷却水流通的水路（20），所述水路（20）的进水口（21）和出水口（22）位于所述背板本体（10）侧面或表面。
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