[实用新型]靶材绑定用背板有效
| 申请号: | 201420675762.7 | 申请日: | 2014-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN204224694U | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
| 发明(设计)人: | 黄勇彪;林文宝 | 申请(专利权)人: | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
| 代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 林俭良 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 绑定 背板 | ||
1.一种靶材绑定用背板,其特征在于,包括背板本体(10)、设置在所述背板本体(10)内的供冷却水流通的水路(20),所述水路(20)的进水口(21)和出水口(22)位于所述背板本体(10)侧面或表面。
2.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述水路(20)在所述背板本体(10)内部呈U形、波浪形或多弯折形。
3.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述背板本体(10)为铜板。
4.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述背板本体(10)的一表面上设有用于焊接靶材的沉台(30)。
5.根据权利要求4所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述沉台(30)的深度为1mm。
6.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述背板本体(10)包括底板(11)以及盖板(12),所述底板(11)的一表面上设有内凹的条形槽,所述盖板(12)盖合焊接在所述底板(11)的所述表面上将所述条形槽封闭形成所述水路(20);
所述条形槽的两端分别延伸至所述底板(11)的侧面,在所述侧面上分别形成所述进水口(21)和出水口(22);或者,所述盖板(12)上设有两个分别对应所述条形槽两端端部的通孔,两个所述通孔和对应的所述端部分别连通形成所述进水口(21)和出水口(22)。
7.根据权利要求6所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述盖板(12)的形状与所述条形槽形状相对应。
8.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述背板本体(10)包括可相互盖合的第一盖板和第二盖板,所述第一盖板和第二盖板相向的表面上分别设有相对应的第一条形槽和第二条形槽,所述第一盖板和第二盖板相向盖合并焊接形成所述背板本体(10),所述第一条形槽和所述第二条形槽相向闭合形成所述水路(20)。
9.根据权利要求8所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述第一条形槽的两端分别延伸至所述第一盖板的侧面,所述第二条形槽的两端对应所述第一条形槽分别延伸至所述第二盖板的侧面,所述第一条形槽的两端端部和所述第二条形槽的两端端部分别相向盖合形成所述进水口(21)和出水口(22)。
10.根据权利要求8所述的靶材绑定用背板,其特征在于,所述第一条形槽的两端贯通至所述第一盖板与所述第二盖板相背的表面,并在该表面上形成两个通孔,两个所述通孔和所述第二条形槽的两端端部相连通形成所述进水口(21)和出水口(22);或者,
所述第二条形槽的两端贯通至所述第二盖板与所述第一盖板相背的表面,并在该表面上形成两个通孔,两个所述通孔和所述第一条形槽的两端端部相连通形成所述进水口(21)和出水口(22)。
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