[实用新型]靶材绑定用背板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种背板，尤其涉及一种靶材绑定用背板。

背景技术

在平板显示器行业，包括TFT与Touch Panel行业的表面镀膜时，膜层起导电线路与透明导电膜功能时，对蚀刻线路精度与表面粗糙度有极高的要求。在镀膜时，大量使用金属靶材与ITO靶材，为了迅速冷却靶材，使靶材原子能有效、均匀沉积在面板基片上，靶材必须绑定在铜背板上。在传统操作中，采用在铜背板后面放置水路通水冷却的方法，将靶材在镀膜时的表面高热量导入背板后面的冷却水。然而，该传统的冷却方法并不能有效地把靶材在镀膜时的表面高热量导入背板后面的冷却水，及时把靶材温度降低下来。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种导热迅速及时、冷却效果好的靶材绑定用背板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种靶材绑定用背板，包括背板本体、设置在所述背板本体内的供冷却水流通的水路，所述水路的进水口和出水口位于所述背板本体侧面或表面。

优选地，所述水路在所述背板本体内部呈U形、波浪形或多弯折形。

优选地，所述背板本体为铜板。

优选地，所述背板本体的一表面上设有用于焊接靶材的沉台。

优选地，所述沉台的深度为1mm。

优选地，所述背板本体包括底板以及盖板，所述底板的一表面上设有内凹的条形槽，所述盖板盖合焊接在所述底板的所述表面上将所述条形槽封闭形成所述水路；

所述条形槽的两端分别延伸至所述底板的侧面，在所述侧面上分别形成所述进水口和出水口；或者，所述盖板上设有两个分别对应所述条形槽两端端部的通孔，两个所述通孔和对应的所述端部分别连通形成所述进水口和出水口。

优选地，所述盖板的形状与所述条形槽形状相对应。

优选地，所述背板本体包括可相互盖合的第一盖板和第二盖板，所述第一盖板和第二盖板相向的表面上分别设有相对应的第一条形槽和第二条形槽，所述第一盖板和第二盖板相向盖合并焊接形成所述背板本体，所述第一条形槽和所述第二条形槽相向闭合形成所述水路。

优选地，所述第一条形槽的两端分别延伸至所述第一盖板的侧面，所述第二条形槽的两端对应所述第一条形槽分别延伸至所述第二盖板的侧面，所述第一条形槽的两端端部和所述第二条形槽的两端端部分别相向盖合形成所述进水口和出水口。

优选地，所述第一条形槽的两端贯通至所述第一盖板与所述第二盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第二条形槽的两端端部相连通形成所述进水口和出水口；或者，

所述第二条形槽的两端贯通至所述第二盖板与所述第一盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第一条形槽的两端端部相连通形成所述进水口和出水口。

本实用新型的靶材绑定用背板，在背板内部设置水路，冷却水直接在背板内部循环，这样靶材在镀膜时的产生的热量更能及时迅速传导到背板内部的冷却水内，通过冷却水的流通带出外部，这样不停循环的冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一实施例的靶材绑定用背板的结构示意图；

图2是图1所示背板沿A-A线的剖面图；

图3是图1所示背板沿B-B线的剖面图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-3所示，本实用新型一实施例的靶材绑定用背板，包括背板本体10、设置在背板本体10内的供冷却水流通的水路20，水路20的进水口21和出水口22位于背板本体10侧面或表面。冷却水通过进水口21流入水路20内，在背板本体10内部流通，从而可把绑定在背板上的靶材镀膜时的产生的热量及时迅速传导到冷却水内，冷却水通过出水口22流通至外部而把热量带出，通过冷却水不断地进出水路20，对背板本体10的不断冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。