[实用新型]一种带有上料台运动机构的MOCVD设备

摘要

本实用新型公开了一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，属于MOCVD设备制造技术领域。带有上料台运动机构的MOCVD设备包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，所述上料台运动机构包括：固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。带有自动化的上料台运动机构，通过机械传动完成进盘、出盘动作，提高了MOCVD设备的人机操作的便捷性能及自动化程度。

主权项

一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，其特征在于，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，上料台运动机构包括固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。