[实用新型]一种带有上料台运动机构的MOCVD设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及MOCVD设备制造技术领域，更具体地涉及一种带有上料台运动机构的MOCVD设备。

背景技术

MOCVD全称金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。在LED半导体行业中，目前全球MOCVD设备制造商主要有两家，分别是德国的AIXTRON公司和美国的VEECO公司，其中AIXTRON公司大约占60-70%的国际市场份额，VEECO公司占30-40%。在MOCVD设备技术领域中几乎所有核心技术均被上述两家公司占有垄断，国内还没有这一领域的核心专利和成熟的设计技术，高质量、量产型的MOCVD设备大多还处于试验阶段，工艺和设备制造技术都不完善。这就使得我国甚至全世界范围内的MOCVD设备的发展受到局限。

在MOCVD设备运行过程中，有一个未工艺盘的送入和已工艺盘的送出动作。国内的MOCVD设备均无法提供自动化的上料台运动机构，这使得工艺中的进盘和出盘动作存在以下缺陷：进盘和出盘动作全部依赖人工手动完成，而未达到自动化生产程度，导致人机操作复杂，生产效率低，且人工成本高。

因此，为了提高MOCVD设备的人机操作的便捷性能及自动化程度，有必要设计一种能够自动送入、送出石墨盘带有上料台运动机构的MOCVD设备，是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种自动化的带有上料台运动机构的MOCVD设备，通过机械传动完成进盘、出盘动作，操作便捷，满足产业化生产需求。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，上料台运动机构包括固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。

所述机械传动部分包括固定在底板上端沿底板长度方向设置的导轨、设在导轨上的滑块、及带动滑块在导轨上来回移动的动力部件，所述滑块上端固定有安装板，安装板上端固定有连接竖板，所述载片盘下端固定连接柱，连接柱下端固定有连接横板，连接竖板与连接横板固定连接，从而滑块带动载片盘同步来回移动。

所述底板上端两侧设有竖板，竖板上端并排设有两块盖板，沿着两块盖板相接触的侧面上开设有长条形的通孔，连接竖板穿过所述长条形的通孔与连接横板固定连接。

所述底板的两侧底端分别安装有固定板，底板通过两块固定板固定安装在设备机架内。

所述滑块由左、右两块构成。

所述动力部件包括设于导轨一端的电机、安装在电机输出端的减速机、连接减速机的主动带轮、设于导轨另一端的从动带轮、及用于主动带轮带动从动带轮转动的皮带，电机通过减速机带动主动带轮转动，皮带连接滑块，并带动滑块在导轨上同步来回移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：采用机械传动方式代替人工操作，运用自动化编程控制MOCVD设备的上料台运动机构进盘和出盘过程。根据检验方案对上料台运动机构进行检测，通过测试得出：1、上料台运动机构使人机操作方便快捷，机械自动化程度大幅提升，大大降低了人工操作强度、难度。2、MOCVD设备满足了产业化生产的需求，提高生产效率，为实现大规模产业化生产提供了必要的条件，有利于国内MOCVD设备的科技发展。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的上料台运动机构内部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。

请参见图1至图2，本实用新型涉及一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，包括设备机架1、设于设备机架1内的反应室、设于反应室外的机械手3、及用于给机械手3进盘和出盘的上料台运动机构2，机械手3用于抓取石墨盘22在上料台运动机构2与反应室之间运送。上料台运动机构2包括外形结构部分、设于外形结构部分内的机械传动部分、以及固定在机械传动部分上方的载片盘17，外形结构部分固定安装在设备机架1内，载片盘17通过机械传动部分带动其在外形结构部分上方做来回直线运动，使得载片盘17承载石墨盘22送入、送出至机械手3的进盘位。