[实用新型]一种带有上料台运动机构的MOCVD设备

权利要求书

1.一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，其特征在于，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，上料台运动机构包括固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。

2.根据权利要求1所述的带有上料台运动机构的MOCVD设备，其特征在于，所述机械传动部分包括固定在底板上端沿底板长度方向设置的导轨、设在导轨上的滑块、及带动滑块在导轨上来回移动的动力部件，所述滑块上端固定有安装板，安装板上端固定有连接竖板，所述载片盘下端固定连接柱，连接柱下端固定有连接横板，连接竖板与连接横板固定连接，从而滑块带动载片盘同步来回移动。

3.根据权利要求2所述的带有上料台运动机构的MOCVD设备，其特征在于，所述底板上端两侧设有竖板，竖板上端并排设有两块盖板，沿着两块盖板相接触的侧面上开设有长条形的通孔，连接竖板穿过所述长条形的通孔与连接横板固定连接。

4.根据权利要求1、2或3所述的带有上料台运动机构的MOCVD设备，其特征在于，所述底板的两侧底端分别安装有固定板，底板通过两块固定板固定安装在设备机架内。

5.根据权利要求2或3所述的带有上料台运动机构的MOCVD设备，其特征在于，所述滑块由左、右两块构成。

6.根据权利要求2或3所述的带有上料台运动机构的MOCVD设备，其特征在于，所述动力部件包括设于导轨一端的电机、安装在电机输出端的减速机、连接减速机的主动带轮、设于导轨另一端的从动带轮、及用于主动带轮带动从动带轮转动的皮带，电机通过减速机带动主动带轮转动，皮带连接滑块，并带动滑块在导轨上同步来回移动。