[实用新型]一种自动快速甩干晶片的装置

摘要

本实用新型公开了一种自动快速甩干晶片的装置，包括桶体、陶瓷盘支架、托架旋转轴、支撑柱、导流平面、集水槽、排水口、桶盖和喷水-抽气系统。设计的导流平面利于清洗废水的收集。桶盖顶部设有喷水系统，利于水流全面覆盖晶片，桶盖顶部设有抽风系统，利于晶片表面迅速干燥。采用喷水-抽气系统为同一装置，设计和操作简单，节约空间，简化装置。侧壁设有集水槽，根据动力力学原理，便于离心水分的收集。集水槽下设有排水口，利于污水收集排出，保护晶片和环境。

主权项

一种自动快速甩干晶片的装置，其特征在于，包括桶体，所述桶体内设有陶瓷盘支架，所述陶瓷盘支架上设有陶瓷盘固定机构，所述陶瓷盘支架通过托架旋转轴固定并在所述托架旋转轴的带动下旋转，所述托架旋转轴通过支撑柱固定在所述桶体上，所述桶体的下表面设有一导流平面，所述桶体侧面设有一集水槽，所述集水槽下方设有排水口，所述桶体上方设有一桶盖，所述桶盖顶部中心位置设有喷水‑抽气系统，所述喷水‑抽气系统包括多个导向管道和设置于每一所述导向管道上的阀门。