[实用新型]多晶硅还原炉

摘要

本实用新型是关于一种多晶硅还原炉，涉及多晶硅制造技术领域，解决的问题是提高制造的成品硅棒精度。主要采用的技术方案为：多晶硅还原炉包括：炉体、设置在炉体内的硅芯支撑组件以及硅芯。炉体上开有用于为操作人员观测硅芯生长情况的观察窗。硅芯支撑组件包括：底座、卡瓣以及标尺。卡瓣位于底座上。硅芯设置在卡瓣上。标尺固定在底座上，标尺的测量壁位于硅芯一侧，为操作人员通过观察窗观测硅芯的生长情况提供参照。操作人员能够将标尺作为参照，通过观察窗观测硅芯与标尺的测量壁之间的距离来确定硅芯的生长情况，使操作人员能够更加精确的获知硅芯的生长现状，从而能够获得精度更高的由硅芯生长而成的成品硅棒，提高制造出的成品硅棒精度。

主权项

一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：炉体、设置在所述炉体内的硅芯支撑组件以及硅芯；所述炉体上开有用于为操作人员观测所述硅芯生长情况的观察窗；所述硅芯支撑组件包括：底座、卡瓣以及标尺；所述卡瓣位于所述底座上；所述硅芯设置在所述卡瓣上；所述标尺固定在所述底座上，所述标尺的测量壁位于所述硅芯一侧，为操作人员通过所述观察窗观测所述硅芯的生长情况提供参照。