[实用新型]多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：

炉体、设置在所述炉体内的硅芯支撑组件以及硅芯；

所述炉体上开有用于为操作人员观测所述硅芯生长情况的观察窗；

所述硅芯支撑组件包括：底座、卡瓣以及标尺；

所述卡瓣位于所述底座上；

所述硅芯设置在所述卡瓣上；

所述标尺固定在所述底座上，所述标尺的测量壁位于所述硅芯一侧，为操作人员通过所述观察窗观测所述硅芯的生长情况提供参照。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，

所述标尺的测量壁距所述硅芯中心线的距离值为所述硅芯生长后的成品硅棒的半径值。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉，其特征在于，

所述标尺为石墨板，所述石墨板上开有螺纹孔；

所述石墨板通过金属钼制螺钉固定在所述底座的侧壁上。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉，其特征在于，

所述底座上设有插孔；

所述卡瓣的一端插设在所述底座的插孔内；

所述底座的插孔的直径大于插入所述插孔内的所述卡瓣的一端的直径。

5.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉，其特征在于，

在所述炉体内的温度达1000～1200℃时，所述卡瓣的一端的直径膨胀至与所述底座的插孔的直径相等。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉，其特征在于，

所述标尺的测量壁与所述硅芯并排设置在所述炉体上的观察窗前方，使所述标尺的测量壁与所述硅芯侧壁之间的间隙从所述观察窗向所述操作人员显露。