[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括：MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间，ASIC芯片固定在电路板上，金属线连接ASIC芯片和电路板，托板固定在电路板上，托板上设有两个通孔；MEMS芯片固定在托板上，MEMS芯片的内壁与托板的一个通孔相对，MEMS芯片与ASIC芯片由金属线连接；密封环固定在外壳和托板之间，密封环的顶端固定在外壳内壁上，底端固定在托板上，托板的另一个通孔与密封环内部相对，托板连通MEMS芯片和密封环；音孔开设在所述密封环内壁所对的外壳上，音孔相对的由密封环、托板和MEMS芯片内侧构成的腔体为前腔；由MEMS芯片外侧、外壳和电路板构成的腔体为背腔。

主权项

一种MEMS麦克风，其包括：MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间，所述ASIC芯片固定在所述电路板上，金属线连接所述ASIC芯片和所述电路板，其特征在于，托板固定在所述电路板上，所述托板上设有两个通孔；所述MEMS芯片固定在所述托板上，所述MEMS芯片的内壁与所述托板的一个通孔相对，所述MEMS芯片与所述ASIC芯片由金属线连接；密封环固定在所述外壳和所述托板之间，所述密封环的顶端固定在所述外壳内壁上，底端固定在所述托板上，所述托板的另一个通孔与所述密封环内部相对，所述托板连通所述MEMS芯片和所述密封环；音孔开设在所述密封环内壁所对的所述外壳上，所述音孔相对的由所述密封环、所述托板和所述MEMS芯片内侧构成的腔体为前腔；由所述MEMS芯片外侧、所述外壳和所述电路板构成的腔体为背腔。