[实用新型]一种靶材烧结载板有效
| 申请号： | 201420562054.2 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204165404U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 侯则良;王维纲 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板表面，采用以上结构，靶材与烧结载板本体之间因为圆珠体的存在形成间隙，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象，从而改善了靶材的烧结质量。本实用新型结构简单、设计合理，成本低廉，具有良好的经济技术效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烧结 | ||
【主权项】：
一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，其特征在于：所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板本体表面。
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