[实用新型]一种靶材烧结载板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种靶材烧结载板。

背景技术

烧结，是把粉状物料转变为致密体，是一个传统的工艺过程，人们很早就利用这个工艺来生产陶瓷 。现有技术对陶瓷靶材进行烧结时，一般是在烧结载板表面铺上一层氧化铝粉末，再将靶材置于烧结载板上进行烧结。这种烧结载板结构，使用时存在明显的缺陷，例如烧结的靶材容易粘接在一起，冷却后无法分开，烧结质量差，同时烧结后的靶材也比较难于冷却，影响了工作效率。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够显著改善靶材烧结质量的靶材烧结载板。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案： 

一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板本体表面。

所述烧结载板本体两端设有缺口。

所述烧结载板本体由刚玉成型。

所述固定孔呈矩阵排列。

所述圆珠体的球径为0.5~1cm。

所述圆珠体为氧化铝成型。

本实用新型采用以上技术方案，在烧结载板本体上均布固定孔，所述固定孔内嵌设圆珠体，采用这样的结构，靶材与烧结载板本体之间因为圆珠体的存在形成间隙，增加空气流通，从而改善了靶材的烧结质量，同时，靶材与烧结载板之间是点接触，而不是现有技术的面接触，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象。此外，由于在烧结过程中烧结载板本体因为受热会膨胀，在烧结载板本体的两侧设置缺口，有利于热量释放，可以提高烧结载板本体的使用寿命。本实用新型结构简单、设计合理，成本低廉，并且显著改善了靶材的烧结质量，具有良好的经济技术效益。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细的说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图。

具体实施方式

如图1或2所示，本实用新型的靶材烧结载板，包括烧结载板本体1，所述烧结载板本体1上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体3，所述圆珠体3凸出于烧结载板本体1表面。

所述烧结载板本体1两端设有缺口2，所述烧结载板本体1由刚玉成型。

所述固定孔呈矩阵排列。

所述圆珠体3的球径为0.5~1cm，所述圆珠体3为氧化铝成型。

本实用新型的靶材烧结载板，靶材与烧结载板本体1之间因为圆珠体3的存在形成间隙，增加空气流通，从而改善了靶材的烧结质量，同时，靶材与烧结载板本体1之间是点接触，而不是现有技术的面接触，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象。此外，由于在烧结过程中烧结载板本体1因为受热会膨胀，在烧结载板本体1的两侧设置缺口2，有利于热量释放，可以提高烧结载板本体1的使用寿命。