[实用新型]一种靶材烧结载板有效
| 申请号： | 201420562054.2 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204165404U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 侯则良;王维纲 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 烧结 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，其特征在于：所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板本体表面。
2.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于：所述烧结载板本体两端设有缺口。
3.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于：所述烧结载板本体由刚玉成型。
4.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于：所述固定孔呈矩阵排列。
5.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于：所述圆珠体的球径为0.5~1cm。
6.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于：所述圆珠体为氧化铝成型。
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